У целом ланцу индустрије полупроводника прерада и производња једна су од најважнијих карика. Са тако великим тржиштем, полупроводничка процесна опрема пружа производну основу за производњу полупроводника великих размера. Овај рад ће се фокусирати на оно што је главна опрема у процесу производње полупроводника.
1, монокристална пећ
Функција опреме: топити полупроводничке материјале, повући монокристал, за каснију производњу полупроводничких уређаја, обезбедити полукружне полупроводничке монокристале.
Главни светски брендови: ПВА ТеПла АГ (Немачка), Ферротец (Јапан), КУАНТУМ ДЕСИГН (САД), Геро (Немачка), КАИЕКС (САД).
Главни домаћи брендови: Пекинг Јингиунтонг, Хуанганг са седам звездица, Пекинг Јингии Центури, Хебеи Јинглонг Сунсхине, Кси [ГГ] #39; ан Јинко Тецхнологи, Цхангзхоу Хуасхенг Тианлонг, Схангхаи Ханхонг, Кси [ГГ] #39; ан Хуаде, 48. институт оф Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп, Схангхаи Схенхе Тхермал Магнетиц.
2. Епитаксијална пећ у гасној фази
Функција опреме: да обезбеди специфично процесно окружење за епитаксални раст гасне фазе, да оствари раст танкослојних кристала у одговарајућој вези са фазом монокристала на монокристалу и да изврши основну припрему за функционалну реализацију потонућа монокристала. Епитаксија у гасној фази је посебан процес хемијског таложења испарења, у коме је кристална структура танког слоја за раст наставак монокристалне подлоге и одговара кристалној оријентацији подлоге.
Главни светски брендови: ЦВД Екуипмент, ГТ, Соитец, АС, Прото Флек, Курт Ј.Лескер, Апплиед Материалс.
Главни домаћи брендови: 48. институт за кинеску електронску технологију, Кингдао Церида, Хефеи Којинг Материал Тецхнологи Цо., ЛТД., Пекинг Јинсхенг Мицро нано, Јинан Лигуан Елецтрониц Тецхнологи Цо., ЛТД.
3. Систем епитаксије са молекуларним снопом
Функције опреме: Систем епитаксије са молекуларним снопом, који обезбеђује процесну опрему за раст филма на доњој површини према специфичности; Епитаксија молекуларног снопа (МБЕА) је техника за припрему монокристалних танких филмова. Користи се за узгој танких филмова слој по слој дуж кристалне осе подлоге под одговарајућом подлогом и одговарајућим условима.
Главни међународни брендови: Рибер (Француска), Веецо (САД), ДЦА Инструментс (Финска), СВТАссоциатес (САД), НБМ (САД), Омицрон (Немачка), МБЕ-Компонентен (Немачка), Окфорд Апплиед (УК) Ресеарцх (ОАР ) компанија.
Главни домаћи брендови: Схенианг Зхонгке Инструмент цо., ЛТД., Пекинг Хуидекин Тецхнологи Цо., ЛТД., Схаокинг Куангтаи Инструмент Екуипмент Цо., ЛТД., Схенианг Кеиоу Вацуум Тецхнологи Цо., ЛТД.
4. Оксидациона пећ (ВДФ)
Функција опреме: За оксидацијски третман полуводичких материјала, осигурајте потребну оксидацијску атмосферу, како бисте постигли очекивани дизајн процеса оксидацијске обраде полуводича, неопходна је карика у процесу обраде полуводича.
Главни међународни брендови: УК Тхермцо Цомпани, Немачка Центротхерм Тхермал Солутионс ГмбХ Цо.КГ компанија.
Главни домаћи брендови: Беијинг Севен Стар Хуакуанг, Кингдао Фреунде, Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 48. институт, Кингдао Ксугуанг Инструмент Екуипмент Цо., ЛТД., Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 45тх Институте.
5. Систем за таложење хемијским испарењима ниског притиска (ЛПЦВД)
Функција опреме: Пара која садржи гасовити или течни реакциони агенс који чини елементе филма и друге гасове потребне за реакцију уводи се у реакциону комору ЛПЦВД опреме, а филм настаје хемијском реакцијом на површини подлоге .
Главни међународни брендови: Хитацхи Интернатионал Елецтриц Цомпани,
Главни домаћи брендови: Схангхаи Цхијиан Семицондуцтор Тецхнологи Цо., ЛТД., Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 48тх Институте, Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 45тх Институте, Пекинг Фацтори Инструмент, Схангхаи Мацхинери Фацтори.
6. Побољшани систем за таложење хемијским испарењима у плазми (ПЕЦВД)
Функција опреме: користите сјајно пражњење у комори за таложење, учините да се јонизује и спроведе хемијску реакцију на подлози за таложење полупроводничког материјала танког филма.
Главни међународни брендови: Прото Флек (САД), Токки (Јапан), Схимадсу (Јапан), Лам Ресеарцх (САД), АСМ Интернатионал (Холандија).
Главни домаћи брендови: 45. институт кинеске технолошке групе за електронику, фабрика инструмената у Пекингу, фабрика машина у Шангају.
7. Магнетронска табела распршивања (МСА)
Функције опреме: кроз затворено магнетско поље паралелно са циљном површином у биполарном распршивању, и ортогонално електромагнетно поље формирано на површини мете, секундарни електрон је везан за одређену површину површине мете, како би се постигла велика густина јона и велика енергетском јонизацијом, а циљни атоми или молекули се таложе на подлогу са високим брзинама распршивања да би се формирао филм.
Велики међународни брендови: ПВД компанија, компанија Вапортецх, компанија АМАТ, компанија Хаузер, компанија Теер, компанија Платит, компанија Балзерс и компанија Цемецон.
Главни домаћи брендови: Пекиншка фабрика инструмената, Схенианг Зхонгке Инструмент цо., ЛТД., Цхенгду Нангуанг Индустриал Цо., ЛТД., Кинеска група за електронску технологију 48. институт, Керуи Екуипмент Цо., ЛТД., Шангајска фабрика машина.
8. Машина за хемијско механичко полирање (ЦМП)
Функција опреме: кроз механичко брушење и хемијско растварање течности [ГГ] ", корозију [ГГ]"; комбинованог ефекта, полирање (полупроводничко).
Главни светски брендови: Апплиед Материалс, Норфа Системс, Ртец.
Главни домаћи брендови: Ланзхоу Ланкин Хигх-тецх Индустри Цо., ЛТД., Алите Мицроелецтроницс.
9, машина за литографију
Функција уређаја: равномерно лепити на површину полупроводничке подлоге (силиконска плочица), пренети узорак на масци на фотоотпор и привремено [ГГ] копирати [ГГ] куот; структуру уређаја или кола до силицијумске плочице.
Главни међународни брендови: АСМЛ (Холандија), Пан Лин Семицондуцтор, Никон, Цанон, АБМ, СУСС, МИЦРО.
Главни домаћи брендови: Кинеска технолошка група за електронику 48. институт, Кинеска технолошка група за електронику 45. институт, Шангајска фабрика машина, Ченгду Нангуанг Индустриал Цо., ЛТД.
10. Реактивни јонски систем за нагризање (РИЕ)
Функције опреме: високофреквентни напон примењује се између плочастих електрода да би се произвео јонски слој дебљине стотина микрона, а узорак брзих удара јона ставља се у образац, ради постизања нагризања хемијске реакције и физичког утицаја, и ради постизања обраде полупроводника и обликовање.
Главни међународни брендови: Јапан Еватецх Цомпани, компанија НАНОМАСТЕР из Сједињених Држава, Сингапур РЕЦ Цомпани, Јужна Кореја ЈуСунг цомпани, Јужна Кореја ТЕС Цомпани.
Главни домаћи брендови: Пекиншка фабрика инструмената, Пекинг Кикинг Хуацхуанг Елецтроницс Цо., ЛТД., Цхенгду Нангуанг Индустриал Цо., ЛТД., Кинеска технолошка група за електронику четрдесет осми институт.
11. ИЦП систем за нагризање плазме
Функције опреме: један или више атома гаса или молекула помешаних у реакционој комори, под дејством спољне енергије (као што је радио фреквенција, микроталасна пећница итд.) Да би са једне стране формирали плазму, активну групу у плазми и хемијска реакција површинског материјала за гравирање, при чему настају испарљиви производи; С друге стране, јони у плазми се усмеравају и убрзавају под дејством пристрасног притиска да би се постигла усмерена корозија и убрзана корозија нагризане површине.
Главни међународни брендови: Окфорд Инструментс (УК), Торр (САД), Гатан (САД), Куорум (УК), Лееман (САД), Пелцо (САД).
Главни домаћи брендови: Фабрика инструмената у Пекингу, Пекинг Кикинг Хуацхуанг Елецтроницс Цо., Лтд., Кина 48. институт за електронску технологију, Годер ион Тецхнологи (Хонг Конг) Холдинг Цо., Лтд., Институт за микроелектронику, Кинеска академија наука, Северна микроелектроника , Пекинг Ориентал Јицхенг Цо., Лтд., Пекинг Трандс Веина Тецхнологи.
12, машина за мокро гравирање и чишћење
Функција опреме: Мокро јеткање је материјал за нагризавање натопљен раствором за нагризање за технологију корозије. Чишћење има за циљ смањење загађења, које може утицати на перформансе уређаја, довести до проблема са поузданошћу и смањити принос, што захтева темељно чишћење пре сваког слоја следећег процеса или пре следећег слоја.
Главни међународни брендови: Сцреен (Јапан), СЕМЕС (Кореја), Токио Елецтрон (Јапан), Лам Ресеарцх (Америка).
Главни домаћи брендови: Нантонг Хуалин Кона Семицондуцтор Екуипмент Цо., ЛТД., Пекинг Кикинг Хуакуанг Елецтроницс Цо., ЛТД., Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 45тх Институте, Таиван Хонгсу.
13. Машина за јонску имплантацију (ИБИ)
Функција опреме: допирање подручја близу површине полупроводника.
Главни међународни брендови: Вариан Семицондуцтор Екуипмент, Инц., ЦХА, ИНЦ., АМАТ, Инц. и Вариан Семицондуцтор Мануфацтуринг Екуипмент, Инц. (купио АМАТ).
Главни домаћи брендови: Пекиншка фабрика инструмената, Кинески институт за електронску технологију 48. институт, Цхенгду Нангуанг Индустриал Цо., ЛТД., Схенианг Фангји Лигхт Индустри Мацхинери Цо., ЛТД., Схангхаи Силицон Топ Мицроелецтроницс Цо., ЛТД.
14, сонда за испитивање
Функција уређаја: Преко контакта сонде са подлогом полупроводничког уређаја, врши се електрично испитивање да би се проверило да ли индекс перформанси полупроводника испуњава пројектне захтеве.
Главни међународни брендови: Немачка Ингун компанија, КА компанија, компанија МицроКсацт, компанија Ецопиа, компанија Леено.
Главни домаћи брендови: Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп 45тх Институте, Пекинг Кикинг Хуацхуанг Елецтроницс Цо., ЛТД., Руике Инструментс, Хуаронг Гроуп, Схензхен Сенмеи Ксиеер Тецхнологи.
15. Машина за разређивање плочица
Функција: смањити дебљину плочице полирањем.
Међународни главни брендови: Јапан ДИСЦО Цомпани, Немачка Г [ГГ] амп; Н цомпани, Јапан ОКАМОТО цомпани, Исраел Цамтек цомпани.
Главни домаћи брендови: Ланзхоу Ланкин Хигх-тецх Индустри Цо., ЛТД., Схензхен Фонда брусна опрема Мануфацтуринг Цо., ЛТД., Схензхен Јинзхили Прецисион Брусхинг Мацхине Мануфацтуринг Цо., ЛТД., Веианда Гриндинг Екуипмент Цо., ЛТД., Схензхен Хуаннифенг Тецхнологи Цо., ЛТД.
16. Машина за писање плочица (ДС)
Функција уређаја: Облатна, исечена на мале комаде Дие.
Главни међународни брендови: Немачка компанија ОЕГ, Јапан ДИСЦО компанија.
Главни домаћи брендови: Кинеска технолошка група за електронику, Пекинг кецхуанг започињањем извора фотоелектричне технологије цо., ЛТД., Схенианг институт инструментационе технологије, северозападна машина цо., ЛТД., (Фабрика 709) имају фабрику северозападних машина, хуи схенг елецтрониц компанија за електронске машине и опрему, ланзхоу: ласер, високотехнолошка индустрија цо., ЛТД., шенжен руби ласер екуипмент цо., ЛТД., радник Ву Хансан, зхухаи Лианоптроницс, Зхухаи Иуемао Тецхнологи.
17. Вире Бондер
Функција уређаја: Повежите јастучић на полупроводничком чипу са јастучићем на пину са проводљивом металном жицом (златна жица).
Главни међународни брендови: амерички Оттеи, немачки ТПТ, Аустрија ФК, Малезија УНИСЕМ.
Главни домаћи брендови: 45. институт Цхина Елецтроницс Тецхнологи Гроуп, Пекинг Трансхијие Тецхнологи Девелопмент Цо., ЛТД., Иукин (Цхенгду) Интегратед Цирцуит Цирцуит Пацкагинг анд Тестинг Цо., ЛТД. (Малаисиа Иунисан Инвестмент), Схензхен Каијиу Аутоматион Екуипмент Цо., ЛТД.